半導體凈化車間潔凈度等級標準及要求
- 發(fā)表時間：2020-11-03
- 來源：網(wǎng)絡(luò)
半導體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對半導體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以在半導體器件生產(chǎn)過程中對什么都必須嚴格控制，雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會破壞半導體器件的導電性能，灰塵粒子破壞半導體器件的表面結(jié)構(gòu)等。
半導體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴，除了要求恒溫恒濕外，對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很嚴，按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標準分成潔凈度的等級。一般分為：10級、100級、1000級、10000級、100000級，國際標準IOS14644-1、國標GB50073-2013、美聯(lián)邦標準中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng) 電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一 規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級(如下表格)。
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行業(yè) 分類 |
潔凈度要求 用途（工藝） |
級別 |
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0.1um |
1000 |
10000 |
100000 |
10000 |
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0.5um |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 |
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半導體行業(yè) |
拉單晶 |
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擴散 |
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腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā) |
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組裝試驗 |
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原料 |
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研磨 |
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包裝 |
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半成品貯藏 |
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